日本精密陶瓷 JFC ALP HALOX 氧化铝陶瓷件
氧化铝是白色或乳白色的陶瓷，利用其优异的电绝缘性能，早期开始即应用在电子部品上，使用量较多，是精密陶瓷中成本很低的材质。
提供纯度为99.5%，99.8%和99.9%的高纯度产品。高纯度类型氧化铝的机械强度高、耐腐蚀性优异，可生产大型产品。
此外，由于其具有优异的耐等离子特性，也可用于ＣＶＤ设备或蚀刻设备的部件。

日本精密陶瓷 JFC ALP HALOX 氧化铝陶瓷件

日本精密陶瓷 JFC ALP HALOX 氧化铝陶瓷件

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产品介绍

日本精密陶瓷（JFC）ALP・HALOX 系列氧化铝（Al₂O₃）陶瓷，是以氧化铝为主原料烧结成型的高性能工程陶瓷材料。采用精密成型 + 高温烧结工艺，可加工成各类异形、薄片、圆环、基板等精密构件，具备优良绝缘、耐磨、耐高温、耐腐蚀性能，尺寸精度可控，广泛用于半导体、电子、检测设备、高温工装领域。

特点

1. 高氧化铝纯度，绝缘性能优异，耐高压，适合电气绝缘部件

2. 硬度高、耐磨性能好，摩擦损耗低，使用寿命长

3. 耐高温，热稳定性佳，热膨胀系数低，高温工况不易变形开裂

4. 耐酸碱腐蚀，不与多数化学试剂反应，化学稳定性强

5. 表面光洁度高，可进行精密研磨，达到微米级尺寸公差

6. ALP、HALOX 两个子系列配方有区分，可根据使用工况选型

技术参数

热膨胀系数为RT～200℃时的测量数据。*：热膨胀系数为RT～800℃时的测量数据。

上述特性值不是保证值。特性值如有改良时，恕不另行通知。

用途

• 半导体制造设备部品（腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘）

• 粉碎机部件（分级机、气流式粉碎机、珠磨机）

• 一般产业用部件（激光加工机喷嘴、转轴、轴承）

• 高精度用，精密用，耐热用冶工具（定位治具、装配夹具）

• 耐磨耗部件（拉丝机导向辊、钢丝通道、导轨）

• 电绝缘部件（绝缘子、垫片、衬套）