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厂商性质:经销商
更新时间:2026-10-19
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日本 SURPASS NTF/VTF系列 微小液体流量计
日本 SURPASS NTF/VTF系列 微小液体流量计
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日本 SURPASS NTF/VTF 系列微小液体流量计,是面向微量液体工况的高精度流量传感器,采用热式传感原理,专门针对 mL/min 级微小液体流量测量。产品体积小巧,可直接嵌入设备管路,可实时监测瞬时流量与累计流量,适合半导体、精细化工、生物设备的微量药液供给监控,NTF、VTF 为不同性能规格的系列机型。
热式测量原理,无活动部件,结构紧凑,不易磨损,维护量低
宽微量流量量程,多型号可选,适配不同微流量工况,检测响应速度快
接液材质可选 PFA、PTFE 等耐腐蚀材质,适配纯水、酸碱药液、有机溶剂等各类化学流体
压力损失小,流道不易积液,气泡耐受性较好,适合精密药液输送场景
具备脉冲、模拟量等信号输出,可对接 PLC,实现流量监控、断液 / 缺液报警
体积小巧轻量化,便于集成到小型设备、分析仪器、药液供给模组内部
可搭配同品牌 V-KIT 传感器查看套件,现场快速调试、信号确认与故障排查
| 区分 | 耐圧 | 流量範囲 | 型式 |
| スタンダード | 700kPa | 5~350μL/min | NTFD-1.6S-0.35 |
| 0.06~3mL/min | NTFD-3S-3 | ||
| 0.2~5.0mL/min | NTFZ-3S-5 | ||
| 2~35mL/min | NTFZ-3S-35 | ||
| 10~150mL/min | NTFZ-4S-150 | ||
| 高耐圧(12MPa) | 5~350μL/min | NTFD-1/4UNF-0.35-PK | |
| 0.06~3mL/min | NTFD-1/4UNF-3-PK | ||
| 0.2~5.0mL/min | NTFZ-1/4UNF-5-PK | ||
| 2~35mL/min | NTFZ-1/4UNF-35-PK | ||
| シンプル(受注生産) | 700kPa | 5~350μL/min | VTFD-1.6S-0.35 |
| 0.06~3mL/min | VTFD-3S-3 | ||
| 0.2~5.0mL/min | VTFZ-3S-5 | ||
| 2~35mL/min | VTFZ-3S-35 | ||
| 0.3~15mL/min | VTFD-3S-15-S | ||
| 高耐圧(12MPa) | 5~350μL/min | VTFD-1/4UNF-0.35-PK | |
| 0.06~3mL/min | VTFD-1/4UNF-3-PK | ||
0.2~5.0mL/min | VTFZ-1/4UNF-5-PK | ||
| 2~35mL/min | VTFZ-1/4UNF-35-PK | ||
| 超高耐圧(24MPa) | 0.03~1.5mL/min | VTFD-1/4UNF-1.5-PK-S | |
| 0.3~15mL/min | VTFD-1/4UNF-15-PK-S |
半导体药液供给、微量试剂配比、锂电池电解液加注、精密涂布、实验室分析设备;半导体、生物制药、精细化工、新能源行业,用于微量供液监测、泵异常检测、工艺流量管控。
可用于多种类型的液体。以下为您介绍相关流体的应用实例。
水(纯水、RO水)
细胞培养液
生理食盐水
强酸性水溶液(盐酸、硝酸等)
有机溶剂(丙酮、甲苯等)
为了在各种液体类型下都能实现精准测量,采用了不易受液体类型影响的测量方式,并配备了流量输出的校正功能。
测量方式采用TOF(飞行时间)法。通过以脉冲波形驱动加热器,以被局部加热的流体作为参照,来测定温度传感器之间的时间差。进而根据这一时间差来计算流量。由于能够直接测量液体的流动速度,因此不太受液体种类差异的影响。
NTF・VTF系列产品是专为纯水环境而设计的,因此,只要液体性质与纯水相似,就可以直接用于精确测量。即便液体性质差异较大,也并不会导致无法进行测量。