日本 HORIBA 数字式液体质量流量计/控制器
日本 HORIBA STEC LF-F/LV-F 系列数字式液体质量流量测控设备，LF-F 为纯流量计（仅测量），LV-F 为带压电阀的质量流量控制器（测量 + 闭环控制）。采用独特珀尔帖冷却式传感原理，区别于传统加热式热流量传感器，不会加热液体，可安全测量低沸点药液，专门用于 g/min 级超微量液体质量流量精准测控。

日本 HORIBA 数字式液体质量流量计/控制器

日本 HORIBA 数字式液体质量流量计/控制器

日本 HORIBA，LF-F LV-F 系列，デジタル液体マスフローメータ / コントローラ，液体质量流量控制器，微量液体 MFC, 珀尔帖冷却式微流量测控模块

产品介绍

日本 HORIBA STEC LF-F/LV-F 系列数字式液体质量流量测控设备，LF-F 为纯流量计（仅测量），LV-F 为带压电阀的质量流量控制器（测量 + 闭环控制）。采用独特珀尔帖冷却式传感原理，区别于传统加热式热流量传感器，不会加热液体，可安全测量低沸点药液，专门用于 g/min 级超微量液体质量流量精准测控，是半导体液体源汽化工艺的核心流体控制组件。

• 提供微升至超低流量控制

• 实现低沸点和高粘度液体材料的精确流量控制

• 超洁净设计

测量技术

冷却测量方法
该系列液体质量流量控制器中的流量传感器由与毛细管接触的电子冷却元件（珀尔帖元件）以及几个温度检测元件组成。当液体流动时，传感器检测对应流量的温升（ΔT），并以流量显示。与热交换不同，这种冷却方法能够测量低沸点液体的流量。此外，该方法还能防止由于二次排放（汽化）的影响而产生的干扰问题，使精确的流量测量成为可能。

结构/工作原理
LV-F 和 LF-F 系列质量流量计采用相同的测量原理。LV-F 系列还配备一个压电阀和一个内部比较控制回路。对流量设定信号和流量输出信号进行比较，并自动控制阀门孔径，使两个信号匹配以控制液体。由于采用了反馈控制系统，不会因外部因素而导致流量变化，因此确保了稳定和精确的控制。

产品特点

1. 珀尔帖冷却式测量原理：利用帕尔贴元件对毛细管冷却，检测液体流动带来的温度变化换算质量流量，不会加热流体，避免低沸点液体汽化沸腾，解决普通热式微量流量计的汽化干扰问题HORIBA

2. 型号区分：LF-F 仅做流量监测；LV-F 内置压电驱动调节阀 + 闭环控制电路，可根据设定值自动调节阀门开度，稳定控制液体质量流量，不受入口压力波动影响

3. 超洁净流道设计，适配半导体超高纯度药液，流道材质耐腐蚀，可处理各类工艺化学品

4. 微量流量量程覆盖广，从 0.02g/min 至 100g/min 多档位可选，适合超微液体供给

5. 压电控制阀无发热，响应速度快，流量控制稳定，粘度上限可达 10cP，可处理一定粘度液体

6. 数字 + 模拟双信号接口，RS485（F-Net）通讯，可对接上位机、PLC，集成到半导体工艺设备

7. 压力损失极低，耐压性能高，适配精密化工管路工况

主要用途

半导体 LDS 液体源汽化系统、薄膜沉积前驱体供给、精密微量药液配比；光伏、光学器件制造、材料气相沉积；半导体、新材料行业，实现微量化学液体的稳定定量输送，解决低沸点药液在流量测量中汽化干扰的难题。