日本 HORIBA SEC-E系列 质量流量控制器
日本 HORIBA（HORIBA STEC）SEC-E 系列是通用型热式气体质量流量控制器，内置热式流量传感元件与电磁调节阀，可直接测量并闭环精准控制气体质量流量，不受温度、压力波动影响。型号覆盖 E40/E50/E431X/E441X/E531/E541 等，流量量程覆盖广，是半导体、镀膜、科研实验领域经典的 MFC 产品。

日本 HORIBA SEC-E系列 质量流量控制器

日本 HORIBA SEC-E系列 质量流量控制器

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产品介绍

日本 HORIBA（HORIBA STEC）SEC-E 系列是通用型热式气体质量流量控制器，内置热式流量传感元件与电磁调节阀，可直接测量并闭环精准控制气体质量流量，不受温度、压力波动影响。型号覆盖 E40/E50/E431X/E441X/E531/E541 等，流量量程覆盖广，是半导体、镀膜、科研实验领域经典的 MFC 产品。

• 配备可靠的热传感器和电磁阀

• 流量控制范围广：10 SCCM 至 200 SLM (N2)

• 应用广泛

• 可集成至各种制造系统，包括：液晶显示器、光伏电池、功率半导体、镀膜

• 一般工业：燃烧器气体控制；大气气体控制；混合气体生产；换气量测量

• 研发：各种气体传感器和燃烧室性能评估设备；生物技术相关评价

• 实验室：用于各种实验、气体取样的气流控制器

产品特点

1. 热式传感原理，直接测量气体质量流量，无需温压补偿，控制精度高、重复性优异

2. 完整流量产品线，氮气当量量程从 10 SCCM 到 200 SLM，从小流量到大流量均可覆盖

3. 接气部件采用 SUS316 不锈钢、PTFE、氟橡胶，适配氮气、氧气、空气、氢气、氩气、氦气等非腐蚀性工艺气体

4. 电磁阀为断电常闭结构，停机自动切断气路，保障工艺安全

5. 响应速度快，T98≤1 秒，2~100% FS 宽控制区间，线性度 ±0.5% FS，重复精度 ±0.2% FS

6. 模拟信号 + 数字通讯接口，可对接 PLC、气体混合器、上位机，适合自动化产线集成

7. 紧凑型红色经典机身，安装便捷，大量应用于半导体、光伏、镀膜、实验室气体配比设备

8. 同系列 SEF-E 为质量流量计（不带调节阀，仅测量），可配套选型

主要用途

半导体工艺、薄膜镀膜、光伏电池、功率器件的工艺气体供给控制；FCON 气体混合器配套、燃烧测试、气体传感器标定、实验室气体配比、热处理气氛控制；半导体、新能源、新材料、科研实验室，用于工艺气体精准定量输送与闭环控制。