日本 AZBIL F7M型 热式微小液体流量计
日本 AZBIL F7M 热式微小液体流量计，搭载 MEMS 热式传感技术，专门针对mL/min 级别微量液体进行流量测量，流道采用熔融石英玻璃材质，耐腐蚀性优异。一体式结构无需额外放大器，可同时采集瞬时流量与累计流量，解决传统流量计难以稳定测量微量液体的难题，广泛用于半导体、精密设备的微量药液供给监控。

日本 AZBIL F7M型 热式微小液体流量计

日本 AZBIL F7M型 热式微小液体流量计

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产品介绍

通过将热式MEMS传感器与耐腐蚀性高的石英玻璃制流道相结合，实现了对每分钟几毫升这种传统测量方法难以实现高精度测量的微量液体流量的精确检测。

其设计理念在于：尽量减少流体状态变化（如气泡、脉动、流体温度等）带来的影响，同时便于对所测流体的参数进行校正（可通过流体的热导率来进行校正）。通过取代传统的泵的转速检测、重量测量以及流体供应时间管理等方法，直接测量瞬时流量和累计流量，从而能够依据更准确的数值来实施生产过程中的质量管控以及异常检测。

产品特点

1. 采用 MEMS 热式测量原理，专门用于 0.1~50mL/min 微小液体流量高精度检测，测量精度可达 ±5% 读数

2. 流道为熔融石英玻璃，耐酸碱、耐化学腐蚀，适配各类清洗液、光刻液、电解液等化工药液

3. 直通式流道，气泡容易排出，相比超声波微量流量计，受气泡影响更小，压力损失低，不易残留积液

4. 一体化紧凑型设计，无需外接放大器，自带 LED 状态指示灯，安装简单，支持水平 / 垂直管路安装

5. 整机外壳无金属部件，防护等级 IP65，可耐受腐蚀性药液溅洒，适合设备内部集成

6. 内置流量报警功能，可设定上下限阈值，异常时输出报警信号；支持非水流体的热系数补偿校准

7. 具备脉冲 / 数字信号输出，可对接 PLC，实现微量供液在线监控、缺液 / 断液异常检测

主要用途

半导体制造、精密涂布、药液微量配比、试剂分装、电解液填充、清洗液微量供给；半导体、锂电池、精细化工、生物制药行业，用于微量药液供液监控、泵体异常诊断、工艺流量闭环管控，替代传统依靠泵转速、称重的间接流量管控方式。