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厂商性质:经销商
更新时间:2026-10-27
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日本 NCC DTSP10-03 落尘颗粒检测仪 测试
日本 NCC DTSP10-03 落尘颗粒检测仪 测试
NCC,DTSP10-03,落下パーティクル測定機,落尘颗粒检测仪,沉降粒子计数器,空中落下尘埃测定装置
产品介绍
落尘计数器是一种环境监测仪器,类似于颗粒计数器,能够检测那些作为产品缺陷诱因的、直径在10微米到100微米以上的较大颗粒。
使用样品(4英寸硅晶圆),利用大颗粒会沉降的特性,对那些直径大于10微米的颗粒进行分离并计数。
与普通的粒子计数器不同,该产品只要在能够放置硅晶圆的地方,就可以进行检测。
※硅晶圆……用于半导体制造的基材,是一种表面平整度与耐热性优异的圆形板材。
产品特点
专为沉降落下颗粒设计:不是吸气抽吸式采样,依靠自然沉降方式采集粒子,还原实际落到产品、基板上的异物状态,贴合制程中异物污染的真实场景。
可识别、统计不同粒径的落下颗粒,记录粒子落下时序,便于分析落尘发生时段、污染突发点。
实时画面观测 + 自动计数,内置光学成像检测单元,可留存颗粒影像,方便区分纤维、金属屑、树脂粉尘等异物类型,助力不良解析。
体积紧凑,可放置在产线工位、涂布区域、组装工位等关键点位定点监测。
数据自动存储,可导出报表,支持长期连续监测,追踪洁净度变化趋势。
搭载阈值报警功能,落下颗粒超标时输出报警信号,及时发现洁净环境异常。
维护简单,采样面更换便捷,减少交叉干扰。
技术参数
| DTSP10-03 | ||
|---|---|---|
| 可测粒径 | MIN 10微米 | |
| 粒径区分 | 10微米、30微米、50微米、100微米,数值可在11至99微米的范围内任意设定*3) | |
| 对应晶圆尺寸 | 4英寸 | 2英寸*4) |
| 测量区域 | MAX φ80毫米 | MAX φ30毫米 |
| 修剪功能 | 有 | 无 |
| 表示切换 | 有(可进行区分显示) | |
*3)通过任意方式设定的阈值是从校准曲线中获得的数值,并不能保证计数效率。
*4) 计数效率仅对4英寸区域有保证;对于仅限于2英寸区域的检测,不保证其计数效率。
用途
半导体、FPD、光学元件无尘车间落尘监控,查找异物不良源头。
锂电池、陶瓷、粉体材料涂布、干燥工序的空中沉降粉尘监测。
精密零部件组装车间、医疗器械洁净区环境验证与日常点检。
产线异物不良解析,对比不同工况下的落尘量差异。
洁净室改造、设备排风、除尘方案效果验证。
材料、电子类实验室洁净环境评估。