日本 TOKYO KEISO CLFC300型 流量测量设备
日本 TOKYO KEISO（东京计装）CLFC300 系列为热式质量流量控制器（MFC），用于高纯气体、工艺气体的精密流量测量与闭环控制。依托热式流量传感原理，不受温度、压力波动带来的体积流量干扰，直接输出质量流量，适配半导体、镀膜、等离子、热处理、粉体合成等精密工艺气路，是实验室与产线气体配比、流量管控的核心测控器件。

日本 TOKYO KEISO CLFC300型 流量测量设备

日本 TOKYO KEISO CLFC300型 流量测量设备

TOKYO KEISO，東京計装，CLFC300 シリーズ，质量流量控制器，MFC，气体流量测控仪，精密流量计量装置

产品介绍

日本 TOKYO KEISO（东京计装）CLFC300 系列为热式质量流量控制器（MFC），用于高纯气体、工艺气体的精密流量测量与闭环控制。依托热式流量传感原理，不受温度、压力波动带来的体积流量干扰，直接输出质量流量，适配半导体、镀膜、等离子、热处理、粉体合成等精密工艺气路，是实验室与产线气体配比、流量管控的核心测控器件。

产品特点

1. 热式质量流量检测，直接测量质量流量，补偿压力、温度变化带来的误差，控制精度高、重复性好。

2. 内部流路洁净处理，低析出、低泄漏，适配氩气、氮气、氧气、氢气等各类高纯工艺气体，部分规格可兼容轻度腐蚀性气体。

3. 内置电磁阀闭环控制，设定流量后自动调节阀门开度，快速稳定在目标流量，响应速度快。

4. 数字通讯 + 模拟信号双接口：支持 RS485 等数字通讯，同时配备 0~5V / 4-20mA 模拟信号，方便接入 PLC、工控系统、上位机软件。

5. 量程规格丰富，可根据工艺选择微小流量到大流量型号，多台并联可搭建高精度气体混合配比系统。

6. 自带流量监测、异常报警功能，可反馈超量程、阀故障等状态信号。

7. 结构紧凑，支持面板安装、气路底板集成，适配气体柜、供气盘、镀膜设备、烧结设备配套集成。

技术参数

用途

1. 磁控溅射、CVD、ALD、等离子清洗等薄膜设备工艺气体流量控制。

2. 热处理炉、烧结炉保护气、反应气精准供给。

3. 气体配比、混合供气系统，搭建标准气体发生装置。

4. 色谱、质谱等分析仪器配套精密供气。

5. 锂电、陶瓷、新材料研发实验室气路流量控制。

6. 半导体、光学元件制造产线高纯气体制程管控。