日本日酸TANAKA 高纯气体压力调节器 微压用
日本日酸 TANAKA TORR-L 系列是面向高纯气体工况开发的微压专用压力调整器，专为需要精准控制低压、微压力供气的工艺设计。阀体内部流路经过抛光处理，低析出、低泄漏，可稳定供给各类特种高纯气体，广泛应用于半导体、薄膜沉积、分析仪器、材料烧结、等离子工艺等对供气压力稳定性、洁净度要求严苛的场景。

日本日酸TANAKA 高纯气体压力调节器 微压用

日本日酸TANAKA 高纯气体压力调节器 微压用

日酸 TANAKA，TORR-L シリーズ，微圧用圧力調整器，高纯气体减压阀，低压调压器，半导体气体调压阀

产品介绍

日本日酸 TANAKA TORR-L 系列是面向高纯气体工况开发的微压专用压力调整器，专为需要精准控制低压、微压力供气的工艺设计。阀体内部流路经过抛光处理，低析出、低泄漏，可稳定供给各类特种高纯气体，广泛应用于半导体、薄膜沉积、分析仪器、材料烧结、等离子工艺等对供气压力稳定性、洁净度要求严苛的场景。

产品特点

1. 微压专属设计，低压调节分辨率优异，可稳定控制微小出口压力，压力波动小，适配微量供气工艺。

2. 流路内部电解抛光处理，低金属析出、低吸附，适配超高纯气体，降低气体污染风险。

3. 密封材质可选适配不同气体，可对应腐蚀性气体、惰性气体、还原性气体等多种高纯介质。

4. 膜片式调压结构，响应灵敏，入口压力变动时出口压力不易漂移，保证工艺供气持续稳定。

5. 阀体结构紧凑，适配面板安装、管路集成，便于接入气体柜、供气盘、实验气路。

6. 耐压、检漏标准严格，泄漏率极低，符合半导体、先进材料行业高纯管路规范。

7. 维护便捷，可单独更换易损件，降低长期使用成本。

技术参数

用途

1. 磁控溅射、CVD、等离子装置等薄膜设备高纯工艺气微流量微压供气。

2. 粉体烧结、热处理炉微量保护气体供给。

3. 各类分析仪器、质谱、气相色谱仪精密供气控制。

4. 半导体、光学器件、陶瓷材料研发实验室气路搭建。

5. 气体配比装置、混合供气系统前端稳压调压。