日本 ULVAC DIS-501 二级涡旋干式真空泵
日本 ULVAC 爱发科 DIS-501 二级涡旋干式真空泵，采用二段涡旋无油结构，泵体内不含润滑油，无油蒸汽返流污染。相比单段机型可实现更高极限真空，抽速更大，运行平稳低噪，提供洁净的前级真空，广泛用于精密分析仪器、镀膜、电子工艺等对真空洁净度有要求的场景。

日本 ULVAC DIS-501 二级涡旋干式真空泵

日本 ULVAC DIS-501 二级涡旋干式真空泵

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产品介绍

日本 ULVAC 爱发科 DIS-501 二级涡旋干式真空泵，采用二段涡旋无油结构，泵体内不含润滑油，无油蒸汽返流污染。相比单段机型可实现更高极限真空，抽速更大，运行平稳低噪，提供洁净的前级真空，广泛用于精密分析仪器、镀膜、电子工艺等对真空洁净度有要求的场景。

特点

1. 二段涡旋结构，极限真空性能优异，抽气能力强，适合需要中真空的工艺。

2. 干式无油设计，无油雾、无返油，不会污染腔体、样品以及工艺气体。

3. 涡旋运转机构振动小、噪音低，适合实验室与精密设备配套使用。

4. 搭载止回防返流机构，停机时阻挡大气倒灌，保护真空腔体内环境。

5. 无需真空泵油，省去换油、油气维护步骤，运维简便，长期使用成本低。

6. 配备过热、过载保护功能，支持长时间连续稳定运行。

7. 排气洁净，无需复杂油雾处理装置，对工作环境友好。

参数

用途

1. 溅射、蒸镀等真空镀膜设备前级粗抽。

2. SEM、XRF、表面分析仪器配套前级真空。

3. 半导体、电子零部件制程洁净真空抽取。

4. 真空脱气、真空干燥、检漏装置、真空夹持工装。

5. 高校、企业研发实验室各类真空实验装置。