日本 ULVAC DIS-252 二级涡旋干式真空泵
日本 ULVAC 爱发科 DIS-252 二级涡旋干式真空泵，为二段式无油涡旋结构，泵腔内部无油润滑，不会产生油蒸气污染。能够稳定获取中真空，洁净无油气，运行振动低、噪音小，是半导体、镀膜、分析仪器、工艺制程常用的洁净真空发生设备。

日本 ULVAC DIS-252 二级涡旋干式真空泵

日本 ULVAC DIS-252 二级涡旋干式真空泵

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产品介绍

日本 ULVAC 爱发科 DIS-252 二级涡旋干式真空泵，为二段式无油涡旋结构，泵腔内部无油润滑，不会产生油蒸气污染。能够稳定获取中真空，洁净无油气，运行振动低、噪音小，是半导体、镀膜、分析仪器、工艺制程常用的洁净真空发生设备。

特点

1. 二段式涡旋结构，相比单段涡旋泵极限真空度更高，抽气性能更优。

2. 干式无油设计，无油雾、无返油，保障真空环境洁净，避免样品与工艺被油污污染。

3. 涡旋机构运转平稳，振动、噪音低，适合放置在实验室与精密设备旁。

4. 内置防回流结构，停机时防止大气返流污染真空腔体。

5. 维护简单，无需定期更换真空泵油，运维成本更低。

6. 自带过载、过热保护，运行可靠，适合长时间连续运转。

7. 排气干净，不需要复杂油气分离装置，环境友好。

参数

●：標準、○：オプション対応、－：対応不可

用途

1. 真空镀膜、溅射设备粗抽、前级真空。

2. 分析仪器：SEM、XRF、表面分析装置前级真空。

3. 半导体、电子元器件制程洁净真空抽取。

4. 真空干燥、脱气、真空包装、检漏设备。

5. 科研实验室、理化实验装置真空供给。