芬兰 VAISALA 半导体紧凑型在线折光仪
PR53S 是维萨拉专为半导体洁净车间开发的紧凑型超纯在线折光仪，采用光学折射原理，无需取样，直接安装在管路、湿法机台、化学供给系统，实时连续检测药液、CMP 研磨液的折射率并换算浓度值，自带温度补偿，适配半导体清洗、蚀刻、药液配比、CMP 抛光工序，可替代传统复杂昂贵的分析设备，实现工艺闭环管控。

芬兰 VAISALA 半导体紧凑型在线折光仪

芬兰 VAISALA 半导体紧凑型在线折光仪

芬兰 VAISALA 维萨拉，Polaris PR53S，半导体在线折光仪，超纯湿法工艺折光仪，CMP 研磨液在线浓度监测，药液浓度在线检测仪

产品介绍

维萨拉 Polaris™ PR53S 是一款紧凑型在线折光仪，专为半导体液体化学应用设计。其改良的 PTFE 流通池和 ¼-1 英寸 Pillar 或 Flare 式连接，可实现与湿法机台、化学分配系统及工艺工具在混合、清洗、蚀刻和 CMP 步骤中的无缝集成。

PR53S 可在洁净室环境和集成工艺工具中持续实时测量化学浓度，帮助在多个阶段实现精准的工艺控制。

凭借高度准确、可靠且可重复的测量，PR53S 能够通过在线折射率测量，替代在批量分配、混合和使用点监测等环节中使用的复杂且昂贵的分析仪。

产品特点

• 专为半导体液体化学品工艺和研磨液设计

• 连续在线浓度测量，实现更严格的工艺控制

• 超纯改性 PTFE 流通池和紧凑设计，适用于洁净室及工具集成使用

• 准确、可重复且无漂移的折射率测量，并集成温度补偿功能

• 长期稳定性良好，无移动部件，维护需求低，正常运行时间长

• 既可独立操作，也可与维萨拉 Indigo520 数据处理单元和维萨拉 Indigo80 手持式显示表头无缝集成

主要用途

• 半导体湿法工艺：清洗药液、蚀刻药剂实时在线浓度监控

• CMP 化学机械抛光研磨液浓度连续监测

• 化学品分配系统、药液配比混配工序浓度管控

• 湿法机台（Wet‑Bench）使用点浓度监测，异常预警，提升晶圆良率

• 替代多套分析设备，简化 Fab 厂化学品监测系统，减少取样人工检测

为要求严苛的化学品和研磨液提供稳定一致的化学控制

可对多种化学品进行准确测量，包括要求严苛的研磨液应用。即使存在气泡、颗粒或晶体，也能保持可靠性能，确保在实际工艺中提供稳定、可信的数据。

Polaris PR53S 非常适合精细化工和半导体行业中的化学品混合与监测，传承了维萨拉 K-PATENTS® 在线折光仪系列 40 余年的创新成果。作为新一代 PR53 系列的一部分，它为现代工艺环境带来了更高的分辨率和更佳的兼容性。