日本Technomate 连续式浆料供给机 加料设备
Technomate P85 是集成温度控制 + 流体控制的连续式浆料供给装置，面向研磨液、陶瓷浆料、抛光液等固‑液悬浮体系。实现浆料恒温、稳定流量连续输送，可管控浆料温度、供给流量、搅拌防沉降，防止粉体沉降结块，保证送至工艺端的浆料浓度、温度条件稳定，多用于 CMP 抛光、研磨加工、薄膜涂布前道浆料供给工序。

日本Technomate 连续式浆料供给机 加料设备

日本Technomate 连续式浆料供给机 加料设备

Technomate，P85 連続式スラリー供給装置，温度流体控制，连续浆料输送设备，研磨液循环供给系统

产品介绍

Technomate P85 是集成温度控制 + 流体控制的连续式浆料供给装置，面向研磨液、陶瓷浆料、抛光液等固‑液悬浮体系。实现浆料恒温、稳定流量连续输送，可管控浆料温度、供给流量、搅拌防沉降，防止粉体沉降结块，保证送至工艺端的浆料浓度、温度条件稳定，多用于 CMP 抛光、研磨加工、薄膜涂布前道浆料供给工序。

产品特点

1. 一体化集成：浆料罐搅拌机构、温度温控单元、流体输送、压力流量监测，整机成套。

2. 连续式稳定供料，可以长时间不间断向外输送浆料，适配设备连续生产。

3. 浆料罐内置搅拌，防止粉体沉降分层，保证罐内浆料浓度均匀。

4. 温度闭环控制，对浆料进行加热 / 冷却恒温，抑制温度变化带来粘度、研磨特性波动。

5. 流量、压力可设定调节，具备监测功能；异常可输出报警信号。

6. 接液部件选用耐磨损耐腐蚀材质，适配研磨颗粒、陶瓷粉体浆料。

7. 可对外输出模拟信号、接点信号，方便对接外部主机、PLC 系统。

8. 罐体便于开盖清洗，方便切换不同种类浆料。

技术参数

主要用途

• CMP 抛光液、研磨加工浆料恒温连续供给

• 陶瓷、无机粉体浆料工艺端稳定送料

• 涂布前工序浆料温度、流量管控

• 半导体、精密加工产线浆料供给配套

• 实验室到量产线，保证浆料条件一致，减少批次差异