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日本 ULVAC SP1 皮拉尼真空计

日本 ULVAC SP1 皮拉尼真空计
日本 ULVAC(アルバック)SP1 皮拉尼真空计,属于 G-TRAN 系列的热传导式真空变送器,一体化小型设计,传感器与驱动电路集成一体。利用皮拉尼热传导原理,用于中低真空区间测量,可广泛用于真空设备在线监测,可单独使用,也可搭配电离真空计组成复合真空计,实现宽范围真空测量。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-10-20
  • 访  问  量:5
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详细介绍

日本 ULVAC SP1 皮拉尼真空计

日本 ULVAC SP1 皮拉尼真空计


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产品介绍

日本 ULVAC(アルバック)SP1 皮拉尼真空计,属于 G-TRAN 系列的热传导式真空变送器,一体化小型设计,传感器与驱动电路集成一体。利用皮拉尼热传导原理,用于中低真空区间测量,可广泛用于真空设备在线监测,可单独使用,也可搭配电离真空计组成复合真空计,实现宽范围真空测量。


产品特点

  • 实现低成本、低空间占用的传感器型

  • 灯丝材料采用了耐腐蚀性优异的铂金。

  • 设定点输出2点,传感器输出DC0~5V(非线性输出)

  • 电源电压DC24V输入


技术参数

类型传感器单元
型式SP1
适应测量子WP-01,WP-02,WP-03,WP-16

测定精度


±15 %(51 Pa ~760 Pa)
±30 %(10 Pa ~ 1000 Pa)
±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa)
使用温度范围10~40℃
采样时间50毫秒,5次移动平均处理

测定值输出


非线性输出:DC0-5V(最大10V)
(更新时间) 50 毫秒
(分辨率)10 mV
设定点1/2调节用输出非线性输出:DC 0-5V(最大10V)
控制输出信号开放收集器,负逻辑
错误信号
设定点1/2
LED表示功率、错误、设置点1/2
电源电压DC24V±2V,90mA(最大值)
输入输出连接器D-sub-15P(M2.6螺丝)
本体质量190克(不含测量子)

附属品

输入输出连接器 1个
快速手册 第1部分

IO与模拟GND、电源GND并未实现隔离。


主要用途

  • 用于半导体、电子元件等各类制造设备在低真空环境下的工艺控制。

  • 用于炉子等各类工业设备在低真空环境下的工艺控制。

  • 用于具有在线式、单片式等多种工艺室的各种制造设备在低真空环境下的工艺控制。

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