日本 ULVAC ST200-A/R/E 热阴极电离真空计
日本 ULVAC ST200-A/R/E 属于 G-TRAN 系列三极管式热阴极电离真空计，一体式变送器结构，传感器与控制器集成一体，可更换不同量程的测量子探头。采用金属三极管结构（非玻璃），抗恶劣工艺环境，灵敏度衰减慢，使用寿命长，用于高真空区间的真空度在线监测，是半导体、镀膜、真空热处理设备的真空检测组件。

日本 ULVAC ST200-A/R/E 热阴极电离真空计

日本 ULVAC ST200-A/R/E 热阴极电离真空计

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产品介绍

日本 ULVAC ST200-A/R/E 属于 G-TRAN 系列三极管式热阴极电离真空计，一体式变送器结构，传感器与控制器集成一体，可更换不同量程的测量子探头。采用金属三极管结构（非玻璃），抗恶劣工艺环境，灵敏度衰减慢，使用寿命长，用于高真空区间的真空度在线监测，是半导体、镀膜、真空热处理设备的真空检测组件。 

型号区分：

• ST200-A：模拟输出型（0~10V 对数输出，3 点开关设定输出）

• ST200-R：串行通信型（RS232C/RS485）

• ST200-E：EtherCAT 工业总线型

产品特点

• 提升易用性：通过连接PC/手机，可进行设定点调整、状态查看等操作

• 灯丝寿命提醒功能：通过监测灯丝的功率使用情况，可提前告知灯丝的剩余使用寿命。

• 可连接不同测量范围的传感器：得益于多离子计的采用，可根据需求选择合适的传感器。

• 紧凑型：相比传统产品实现了大幅缩小（控制器体积减少了56%），属于最小型级别。

• 产品线更加丰富：除了模拟输出规格（ST200-A）和串行通信规格（ST200-R）之外，还新增了EtherCAT规格（ST200-E）。

• 三极管式金属离子真空计：即便在对真空计极为恶劣的环境中，也能保持长寿命。

• 广泛的压力测量范围：从大气压到高真空领域（1×10⁺⁵～1×10^-5可进行Pa的测量（连接选项单元SWU10-R时）

• 准确的大气压力测量：可检测舱体打开时的大气压力（在连接可选装置SAU时）。

技术参数

主要用途

• 用于确认有机EL、触摸屏等制造设备所达到的压力值，以及进行工艺控制。

• 用于确认真空炉等各类工业用真空装置的达到压力

• 在含有大量碳氢化合物（油类）的环境中进行测量时

• 在真空部件加工过程中，仍有切削油和清洗液残留的环境下进行测量

• 旨在降低真空计测量子更换频率的真空装置专用产品

※在腐蚀性气体（卤素气体）环境中使用时，请事先咨询。