日本 YUTAKA GSR2F系列 压力调节器
日本 YUTAKA GSR2F 系列精密压力调节器，为膜片式高纯气体调压阀，采用 SUS316L 不锈钢流道，内部电解抛光处理，洁净度高。主要用于工艺气体管路的精密稳压，抑制上游压力波动，稳定下游供气压力，适配半导体、分析仪器的高纯气体管路系统。

日本 YUTAKA GSR2F系列 压力调节器

日本 YUTAKA GSR2F系列 压力调节器

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产品介绍

日本 YUTAKA GSR2F 系列精密压力调节器，为膜片式高纯气体调压阀，采用 SUS316L 不锈钢流道，内部电解抛光处理，洁净度高。主要用于工艺气体管路的精密稳压，抑制上游压力波动，稳定下游供气压力，适配半导体、分析仪器的高纯气体管路系统。

产品特点

1. 高灵敏度金属膜片结构，调压响应快，稳压性能优秀，有效降低入口压力波动对下游的影响

2. 流道 SUS316L 电解抛光处理，低析出，适合高纯工艺气体，减少微粒污染

3. 阀体紧凑，支持面板安装或管路直装，适配气体控制柜、设备内部集成

4. 多压力量程规格可选，可搭配压力表监测进出口压力

5. 密封件可选，适配氮气、氩气、氧气、空气等非腐蚀性高纯气体

6. 压力微调顺滑，可实现低压精密调节，保护下游 MFC、流量计等精密流量元件

7. 阀体内部死区小，气体置换快，便于工艺管路吹扫

技术参数

主要用途

半导体设备气路、薄膜镀膜、气体混合装置、实验室气相实验、分析仪器气源稳压；半导体、新材料、科研实验室，用于工艺气体稳压，稳定 MFC、质量流量计的供气压力，保障气体流量控制精度。