日本 YUTAKA GSR1-4-VP系列 气体压力调节器
日本 YUTAKA GSR1-4-VP 系列精密气体压力调节器，属于面板安装式精密调压阀，专为工艺气体管路压力调节设计。可对供气压力进行精密稳压，降低上游压力波动对下游工艺的影响，阀体结构洁净，压力调节灵敏度高，适合半导体、分析设备的高纯气体管路稳压控制。

日本 YUTAKA GSR1-4-VP系列 气体压力调节器

日本 YUTAKA GSR1-4-VP系列 气体压力调节器

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产品介绍

日本 YUTAKA GSR1-4-VP 系列精密气体压力调节器，属于面板安装式精密调压阀，专为工艺气体管路压力调节设计。可对供气压力进行精密稳压，降低上游压力波动对下游工艺的影响，阀体结构洁净，压力调节灵敏度高，适合半导体、分析设备的高纯气体管路稳压控制。

产品特点

• GSR1系列是一种用于理化实验的不锈钢制压力调节器，作为旧款GSN1系列的升级版，其基本性能得到了提升。

• 该产品为不锈钢制的一体式压力调节器，共有两种款式：传统型的止回阀结构，以及带有排放阀的“-PVP"型。若使用H2或He气体，经过12小时的氦气密封测试后，仍能保持高安全性。

技术参数

主要用途

气体混合装置、半导体工艺气路、薄膜镀膜设备、实验室气体供给系统、分析仪器气源稳压；半导体、新材料、科研实验室，用于工艺气体管路稳压，稳定下游 MFC、流量计的供气压力，保障气体流量控制精度。

主要部材质