日本电炉工业 陶瓷静电吸盘 倒立式气氛炉
日本 NIHON‑DENRO（日本電炉工業）倒立式气氛炉，专门面向半导体陶瓷静电吸盘（ESC）开发的间歇式高温气氛烧成炉。采用倒立吊装结构，工件从上向下吊入炉腔，有效避免工件自重造成翘曲变形，同时防止炉内灰尘掉落污染陶瓷工作面，保障静电吸盘平面度与绝缘性能。

日本电炉工业 陶瓷静电吸盘 倒立式气氛炉

日本电炉工业 陶瓷静电吸盘 倒立式气氛炉

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产品介绍

日本 NIHON‑DENRO（日本電炉工業）倒立式气氛炉，专门面向半导体陶瓷静电吸盘（ESC）开发的间歇式高温气氛烧成炉。采用倒立吊装结构，工件从上向下吊入炉腔，有效避免工件自重造成翘曲变形，同时防止炉内灰尘掉落污染陶瓷工作面，保障静电吸盘平面度与绝缘性能。圆筒式炉腔保证温场、炉内气氛分布均匀，支持氮气、氮氢混合加湿气氛、大气环境，可完成氧化铝、氮化铝静电吸盘脱脂、预烧、致密化烧结全工序，可用于试样研发与中小批量生产，设备支持定制炉膛尺寸与工艺配置。

产品特点

1. 倒立式吊装结构，工件悬挂放置，规避自重压弯变形，杜绝炉体上方落尘污染陶瓷吸盘工作面，保证成品平面精度。

2. 圆筒型炉腔，环绕式加热器布置，炉内温度与保护气体分布均匀，整批产品烧结一致性高。

3. 适配 N₂、N₂+H₂混合加湿气氛、大气多种工艺；标配气体加湿装置，满足陶瓷静电吸盘特殊烧结气氛要求。

4. 加热器可选钼材质、二硅化钼材质，最高使用温度可达 1600℃，适配氮化铝、氧化铝陶瓷烧结需求。

5. PLC 多段程序温控，完整存储升温‑保温‑降温烧成曲线，工艺条件可复现；配备气体流量精密控制系统。

6. 整套炉体、保温层、工件吊具工装均可根据 ESC 产品尺寸定制，适配小试到大批量生产。

7. 完备安全联锁：气体异常、超温报警、氢气使用安全防护，保障半导体陶瓷生产安全运行。

技术参数

产品用途

1. 半导体陶瓷静电吸盘（ESC）氧化铝、氮化铝陶瓷坯体脱脂、预烧、高温致密烧结。

2. 对平整度要求严苛的平板类精密工业陶瓷烧成加工。

3. 需要加湿氮氢气氛的电子陶瓷零部件热处理烧结。

4. 半导体新材料研发，陶瓷静电吸盘配方、烧成工艺试样试验。

5. 平板陶瓷易变形工件，防止自重形变的气氛烧结生产。