日本Micro-tec 半导体静电卡盘用丝网印刷机
日本 Micro-tec ESC-500 静电卡盘专用丝网印刷机，面向半导体陶瓷静电卡盘（ESC）电极图案印刷开发的高精度丝网印刷设备。专门用于氧化铝、氮化铝陶瓷基板表面导电电极线路印刷，可稳定制备静电卡盘所需的精细电极图形。设备印刷对位精度高，膜厚均匀可控，可减少针孔、断线、厚薄不均等印刷不良，适配陶瓷静电卡盘试样研发与小批量生产。

日本Micro-tec 半导体静电卡盘用丝网印刷机

日本Micro-tec 半导体静电卡盘用丝网印刷机

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产品介绍

日本 Micro-tec ESC-500 静电卡盘专用丝网印刷机，面向半导体陶瓷静电卡盘（ESC）电极图案印刷开发的高精度丝网印刷设备。专门用于氧化铝、氮化铝陶瓷基板表面导电电极线路印刷，可稳定制备静电卡盘所需的精细电极图形。设备印刷对位精度高，膜厚均匀可控，可减少针孔、断线、厚薄不均等印刷不良，适配陶瓷静电卡盘试样研发与小批量生产。整机运动控制稳定，印刷压力、刮刀速度、间隙均可精密调节，是半导体静电卡盘制造工艺中的核心制程设备。

产品特点

1. 专为半导体静电卡盘 ESC 定制，用于陶瓷基板导电电极丝网印刷成型

2. 高精度对位系统，精细图案套印精度高，满足静电卡盘电极图形要求

3. 印刷膜厚均匀可控，可稳定制备薄而致密的导电浆料层，减少印刷缺陷

4. 刮刀速度、印刷压力、网版间隙等参数独立可编程调节，工艺可复现

5. 适配氮化铝、氧化铝等陶瓷基板，兼容各类导电浆料印刷

6. 设备稳定性强，既可用于新品研发打样，也支持小批量试样连续生产

产品用途

用于半导体陶瓷静电卡盘（ESC）制造工序，在陶瓷基板表面印刷导电电极图案，是静电卡盘生产的关键工艺设备。适用于半导体零部件企业、新材料研发机构，用于静电卡盘新品开发、电极印刷工艺验证、试样小批量制备。