日本 MATSUSADA 松定 静电卡盘专用高压电源
专为静电夹具设计的高压电源。它不仅具备极性切换和强制接地功能，还能满足监测晶圆被夹紧状态的需求。该产品拥有多种电压规格，可适用于库仑力型以及拉贝克力型两种夹持方式。

日本 MATSUSADA 松定 静电卡盘专用高压电源

日本 MATSUSADA 松定 静电卡盘专用高压电源

MATSUSADA 松定 HECD 系列，静电卡盘高压电源，ESC 高压供电电源，半导体静电吸盘电源，双极性高压直流电源，静电吸附高压发生器，半导体工艺高压电源

产品介绍

日本 MATSUSADA 松定 HECD 系列静电卡盘专用高压电源，针对半导体静电卡盘 ESC 工况开发的高性能双极性高压直流电源。输出电压稳定性高，电压纹波小，可精准调节静电吸附力，能够快速完成晶圆吸附、脱附的工艺时序切换。搭载电弧检测与抑制功能，可实时监测工艺腔体内放电异常，搭配过压、过流、短路多重安全防护，降低静电卡盘、晶圆受损风险。支持远程模拟 / 数字通讯控制，易于集成到刻蚀、PVD、CVD 等半导体真空工艺设备，适用于设备研发验证与量产产线配套。

产品特点

• 半拉克尺寸的紧凑设计

• 通过极性反转功能实现平稳的解锁，从而提升处理效率。

• 借助能够监测晶圆夹紧状态的晶圆检测功能，可实现可靠的夹紧/松开操作。

• 采用放大器结构，实现了“快速响应"，同时还能在极性切换时无需使用机械继电器，从而具备更长的使用寿命。

• 通过“2路输出（2通道）独立控制（可选）"以及“中央触点输出（可选）"，可满足各种夹紧/松开需求。

• 数字接口[LAN·USB·RS-232C]标准配备

• 内置RF滤波器（低通滤波器）（13.56MHz）

• 可提供特殊定制服务（4通道、6通道、数字控制、输出电压等）

技术参数

产品用途

为半导体工艺设备中的静电卡盘（ESC）提供高压驱动，实现晶圆静电夹持固定。配套刻蚀、薄膜沉积等半导体工艺腔体，稳定夹持晶圆，保证晶圆温度均匀。适用于半导体设备制造商、科研机构，用于静电卡盘性能测试、设备开发验证以及工业化产线配套供电。

• 静电夹具

• 半导体制造装置

• 光刻技术 (Photolithography)

• 化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition：CVD)

• 等离子体CVD（等离子体增强CVD：PECVD）

• 半导体晶圆处理

• 平板面板处理

• 干法蚀刻（Dry etching）

• 等离子体蚀刻（Plasma etching）

• 反应离子刻蚀（Reactive-ion etching: RIE）