日本 MATSUSADA 静电卡盘专用高压电源
日本 MATSUSADA 松定 HJC 系列静电卡盘专用高压电源，是面向半导体静电卡盘（ESC）配套开发的高精度直流高压供电设备。输出电压稳定，响应速度快，支持双极性输出，可精准控制静电吸附力，适配晶圆吸附、释放工艺时序。设备内置保护电路，具备过压、过流、电弧保护，可应对半导体工艺中的电弧放电等异常工况。

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