日本 KOFLOC 标准型质量流量控制器
日本 KOFLOC 3660 系列标准型气体质量流量控制器，采用热式质量流量传感原理，集成流量传感器、控制电磁阀与放大控制电路，直接测量气体质量流量，不受温度、压力波动影响，可闭环精准控制工艺气体流量。属于通用经济型 MFC，产品线量程丰富，广泛应用于各类气体配比、材料实验、镀膜等场景。

日本 KOFLOC 标准型质量流量控制器

日本 KOFLOC 标准型质量流量控制器

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产品介绍

日本 KOFLOC 3660 系列标准型气体质量流量控制器，采用热式质量流量传感原理，集成流量传感器、控制电磁阀与放大控制电路，直接测量气体质量流量，不受温度、压力波动影响，可闭环精准控制工艺气体流量。属于通用经济型 MFC，产品线量程丰富，广泛应用于各类气体配比、材料实验、镀膜等场景。

产品特点

1. 热式传感原理，直接检测气体质量流量，无需温压补偿，控制稳定，重复性好

2. 完整量程覆盖，氮气当量从 10 SCCM ~ 20 SLM，多型号可选，适配中小流量工况

3. 接气部件采用 SUS316L 不锈钢、PTFE、氟橡胶，适配氮气、空气、氩气、氧气、氢气等非腐蚀性气体

4. 内置断电常闭电磁阀，停机自动切断气路，保障设备与工艺安全

5. 响应速度快，宽可控范围，2~100% FS 全量程可控，线性度优秀

6. 模拟信号 0~5V 标准输入输出，可直接对接 PLC、气体混合器、上位机，集成简单

7. 体积紧凑，安装方便，性价比高，是实验室、小型产线常用的标准款 MFC

8. 支持多种气体标定，可按实际使用气体进行参数设定

主要用途

气体混合配比、热处理气氛控制、等离子清洗、薄膜镀膜、燃烧测试、传感器标定；科研实验室、新材料、小型半导体设备、锂电池、精密化工行业，用于工艺气体定量输送与闭环流量控制。