日本RION MR‑S1 CMP浆料监测系统 半导体用
RION MR‑S1 为湿式浆料在线监测系统，采用超声衰减法，无需取样，直接对管路内循环浆料、研磨液、悬浮液进行实时监测。可同时输出颗粒浓度、等效粒径等数据，面向半导体、陶瓷、化学工艺现场，对循环浆料状态进行连续监控，及时捕捉浆料劣化、颗粒团聚、浓度波动，实现工艺稳定管控。

日本RION MR‑S1 CMP浆料监测系统 半导体用

日本RION MR‑S1 CMP浆料监测系统 半导体用

日本 RION，MR‑S1，スラリーモニタシステム，浆料在线监测系统，颗粒浓度粒径在线监测，研磨液浆料监控装置

产品介绍

RION MR‑S1 为湿式浆料在线监测系统，采用超声衰减法，无需取样，直接对管路内循环浆料、研磨液、悬浮液进行实时监测。可同时输出颗粒浓度、等效粒径等数据，面向半导体、陶瓷、化学工艺现场，对循环浆料状态进行连续监控，及时捕捉浆料劣化、颗粒团聚、浓度波动，实现工艺稳定管控。

产品特点

1. 超声衰减检测原理，直接接入工艺管路，实现非取样在线连续监测，不用取样稀释，避免取样带来数据偏差。

2. 可同时监测浆料颗粒浓度与等效粒径，实时掌握浆料浓度变化、颗粒团聚恶化情况。

3. 传感器直接接触浆料，适配高浓度悬浮液、研磨液、陶瓷浆料，浑浊样品也可稳定测量。

4. 控制器可设置上下限阈值，异常时继电器报警输出，可联动 PLC、上位系统。

5. 模拟信号 4‑20mA、RS‑485 通讯输出，数据可接入工厂控制系统记录、追溯工艺数据。

6. 传感器探头耐磨损，可直接安装在循环管路、槽体侧壁；主机为盘面安装型，适配控制柜。

7. 无需光学窗口，不受气泡、浆料颜色影响，适合现场严苛工业环境。

技术参数

触摸屏功能：1.设定测量条件；2.开始/停止测量；3.显示数据趋势图；4.列出数据数值；5.显示错误信息

外部输出功能：1.可通过以太网将数据从触摸屏传输到上位计算机；2.配备8点继电器输出接口

颗粒尺寸分类（2个等级）：3微米以上、5微米以上

可测量的范围：当颗粒尺寸为3微米时，最大测量值为25微米；当颗粒尺寸为5微米时，最大测量值为40微米 

额定流量：60毫升/分钟

电源要求：交流电100伏特，50/60赫兹

连接方式：PFA材质的3/8英寸接口

尺寸与重量：480毫米（高）×300毫米（宽）×300毫米（深），重量为14公斤

主要用途

• CMP 研磨液、抛光浆料循环状态在线监控

• 陶瓷、无机粉体循环浆料浓度、颗粒状态监测

• 半导体工艺浆料品质实时管控，预警浆料劣化团聚

• 化工悬浮液生产过程在线监测

• 工厂工艺闭环管控，数据记录与异常报警